Резюме: Старший инженер

Специалист в области осаждения тонких плёнок для микро- и наноэлектроники, фотоники и квантовых устройств, а также в области функциональных покрытий. Глубокие знания физики низкотемпературной плазмы и процессов PVD/CVD. Опыт работы в условиях чистой комнаты. Умею самостоятельно разрабатывать и оптимизировать технологические процессы, участвовать в полном цикле НИОКР, работать в междисциплинарных командах. Постоянно изучаю новые технологии, легко осваиваю сложное оборудование.

Опыт работы:
СП Квант
Технический эксперт/Старший инженер
Июнь 2025 — сейчас (10 месяцев)

Возглавляю направление осаждения тонких плёнок на установках PECVD, LPCVD и PEALD (пластины 76–300 мм в зависимости от установки).

Разработка и оптимизация рецептов осаждения:
PECVD: Оксиды и нитриды кремния, альфа-кремний.
LPCVD: Поликремний, нитрид кремния, сухое и влажное термическое оксидирование;
PEALD: Оксиды и нитриды различных металлов (Ti, Al, V и др.).
Участие в НИОКР по созданию элементов фотоники (оптические волноводы с низкими потерями), джозефсоновских переходов и поверхностных ионных ловушек для квантовых вычислений.
Взаимодействие со смежными подразделениями (литография, травление, метрология) для обеспечения кросс-функциональных задач.
Написание технической документации, отчётов, программ и методик испытаний.

ООО "Технологические системы защитных покрытий"
Научный сотрудник
Май 2023 — Май 2025 (2 года и 1 месяц)

-Подбор и реализация технологий по плазменному (APS) Высокоскоростному (HVOF), диффузионному методу нанесения покрытий.
-Разработка технологии нанесение покрытий (тех.процессы, тех. инструкции,маршрутные карты, расчёт расхода материалов);
-Сопровождение проектов в области ремонта и восстановления деталей горячего тракта ГТУ.
-Разработки покрытий для защиты от коррозии, абразивного износа и т.п.
-Разработка функциональных покрытий на основе органических, неорганических связующих и технологий их нанесения.
-Участие в НИОКР.
-Участие в разработке линии и технологий термической обработки деталей, вакуумной пайки.

ГНЦ РФ ТРИНИТИ
Младший научный сотрудник
Июнь 2020 — Май 2023 (3 года)

Работа в области физики плазмы, плазменного синтеза материалов, материаловедения. Разработка и реализация функциональных покрытий с помощью вакуумных методов нанесения (PVD). Работа с магнетронными, дуговыми, ВЧ источниками плазмы. Участие НИОКР по разработке экспериментальных установок для плазменного синтеза материалов и нанесения функциональных покрытий на всех его этапах. Научный поиск и обоснование решений для различного типа работ в области физики низкотемпературной плазмы и материаловедения. Подбор аналитического оборудования различного типа. Написание технических заданий, программ и методик испытаний, отчетов в рамках НИОКР.